本裝置為分子篩凈化空氣、空氣增壓、氧內(nèi)壓縮、下塔抽取壓力氮流程，帶中壓空氣增壓透平膨脹機，膨脹空氣進下塔，采用規(guī)整填料上塔，全精餾制氬工藝。
原料空氣自吸入口吸入，經(jīng)自潔式空氣過濾器AF除去灰塵及其它機械雜質(zhì)。過慮后的空氣進入離心式空壓機ATC，經(jīng)壓縮機壓縮到約0.615MPa(A)，然后進入空氣冷卻塔AC冷卻。冷卻水為經(jīng)水冷塔WC冷卻后的水。空氣自下而上穿過空氣冷卻塔，在冷卻的同時，又得到清洗。
經(jīng)空冷塔冷卻后的空氣進入切換使用的分子篩純化器MS1（MS2），空氣中的二氧化碳、碳?xì)浠衔锖退直晃健７肿雍Y純化器為兩只切換使用，其中一只工作時，另一只再生。純化器的切換周期約為8小時，定時自動切換。
凈化后的空氣分為三股：一股直接從分子篩后抽出作為儀表空氣和工廠空氣；一股進入低壓板式換熱器E1，被返流污氮氣及氮氣冷卻后出換熱器底部進入下塔C1；另一股去空氣增壓機
進入空氣增壓機的空氣經(jīng)增壓機第一段增壓到約2.8MPa(A)后分為兩股：一股直接出增壓機，經(jīng)水冷卻器冷卻后進入膨脹機的增壓風(fēng)機BT中增壓，然后被冷卻器冷卻至常溫后進入低壓板式換熱器E1，再從換熱器中部抽出進入膨脹機ET去膨脹。膨脹后的含濕空氣進入氣液分離器，經(jīng)氣液分離器的空氣與出板式換熱器的低壓空氣匯合，進入下塔C1。從氣液分離器抽出的液空也送入下塔C1。
另一股空氣在增壓機的第二段繼續(xù)增壓到約7.2MPa(A)并經(jīng)后過冷器冷卻至常溫后進入高壓板式換熱器E2，與高壓液氧及返流污氮氣體換熱。這部分高壓空氣從換熱器E2底部抽出經(jīng)節(jié)流進入緩沖罐。緩沖罐中的液空經(jīng)節(jié)流進入下塔
空氣經(jīng)下塔C1初步精餾后，獲得液空、純液氮和污液氮，并經(jīng)過冷器E3過冷后節(jié)流進入上塔C2。經(jīng)上塔進一步精餾后，在上塔底部獲得液氧，并經(jīng)液氧泵OP1(OP2)壓縮后進入高壓板式換熱器E2，復(fù)熱后出冷箱，出界區(qū)壓力為8.5MPa（G），然后進入氧氣管網(wǎng)
上塔底部獲得的液氧一部分送入儲槽，并從中抽取一定的量汽化后進入氧氣管網(wǎng)。
在下塔頂部獲得純液氮，送入液氮貯存系統(tǒng)。并間斷的從中抽取一定的量汽化后進入氮氣管網(wǎng)。
在下塔頂部抽取壓力氮氣，經(jīng)低壓板式換熱器E1復(fù)熱后出冷箱，進入氮氣管網(wǎng)。
在上塔C2中部抽取一定量的氬餾份送入粗氬塔，粗氬塔在結(jié)構(gòu)上分為二段，第二段粗氬塔C702底部的回流液體經(jīng)液氬泵AP1（AP2）加壓后送入第一段C701頂部作為回流液；氬餾份經(jīng)粗氬塔精餾后得到粗液氬，并送入純氬塔C703中部，經(jīng)純氬塔精餾后在塔底部得到2PpmO2的**氬
從上塔上部引出污氮氣經(jīng)過冷器E3、低壓板式換熱器E1和高壓板式換熱器E2復(fù)熱后出冷箱后分成兩部分：一部分進入分子篩系統(tǒng)的蒸汽加熱器SH，作為分子篩再生氣體，其余污氮氣去水冷塔。
